Safety

• 완벽한 Purge 기능으로 안전한 Canister 교환 작업이 가능

Simple

• 간단한 구조와 Utility로 R&D 개념의 Line에서도 사용가능

Specification

• 다양한 Model로 다양한 종류의 액체공급이 가능

Source

• TEOS, TEB, TEPO의 다양한 Chemical 적용

Multi Supply

• One System으로 복수의 Main 장비에 Source의 공급이 가능

특 징

• Compact한 System
• 교체용 Canister Line의 Purge와 Process Canister에서의 Source 공급이 동시에 수행
• System 내부 Vacuum Generator가 내장되어 Line의 Purge 를 완벽히 수행하고, 별도의 Vacuum Pump가 불필요
• Process Canister내의 Over Pressure 감시 기능이 있어 안 정된 Source 공급이 가능
• Bulk Canister는 Level Switch 및 Load Cell로 이중 감시 설계
• Color Touch Panel을 사용하여 설정값, 알람표시, 동작상 태의 동작 그래픽 표시 등 사용자가 편리하고 쉽게 조작 가능
• 각종 외부 장비와의 통신 및 Monitoring을 위한 Interface 호환이 뛰어남
• He Separator를 설치하여 He 가압시 혼합될 수 있는 He Gas를 제거
• Option으로 하나의 System으로 여러대의 Main장비에 Source공급이 가능한 Multiple Supply System의 제작이 가능