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FLOW METER
FW 1530 Series
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FW 1530 Series

FW 1530 Series는 유체 접촉부 및 Body 를 CPVC, TEFLON(PTFE)으로 제작하여, 우수한 내화학성 및 고순 도를 유지하여, 반도체 장비 및 설비의 초순수 및 Chemical Line 에 적용되도록 제작된 Liquid용 대용량 유량계입니다.

수지 재질 사용

  • FW 1530P Series : CPVC
  • FW 1530T Series : TEFLON(PTFE)
  • 우수한 내화학성, 높은 순도 유지

액체전용 대용량

  • WATER 20~50 ℓ/min

Needle valve 부착 표준 모델

  • 정밀 유량제어가 용이함.

초음파 세정(DI Water) 및 진공 포 장

  • 유량계 내부의 오염을 방지

용 도

  • 반도체 제조장치
  • 초순수 및 고순도 액체 사용설비
  • 장비 Utility용

사 양

모 델 FW 1530P, FW 1530T
적용유체 기체, 액체 (VISCOSITY 5.0 cP 이하)
측정오차 ± 3 %Full scale
사용압력 최대 5 kg/㎠
사용 온도 최대 60 ℃
재 질

Body, 유체 접촉부 : CPVC, PTFE
Taper Tube : PYREX Glass(Borosilicate)

Range

MODEL WATER (Sp.Gr., 1.0 VISCOSITY 1.0 cP)
FW 1530 20, 25, 30, 40, 50 ℓ/min


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