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유체 접촉부를 Stainless 재질로 하여 초순수 및 고순도 의 유체에
사용될 수 있도록 설계되었으며, 다양한 치수의 Model이 있어
광범위한 분야에 적용이 가능합니다.
Compact Size
Stainless 재질 사용
다양한 Gasket 재질
- 유체 종류 및 용도에 따라 NBR, EPDM, VITON, PTFE 선택
미소 유량 측정에 최적
- AIR 30 cc~ 40 ℓ/min
- WATER 30 cc ~ 2 ℓ/min
초음파 세정(DI WATER) 및 진공 포 장
용 도
- 반도체 제조공정의 DIW Line
- Chemical, Gas Line
- 반도체 장비 및 연구장비 Purge Gas Line
- Gas Cabinet Purge Line
사 양
| 모 델 |
FW 1110, FW 1120, FW 1130 |
| 적용유체 |
기체, 액체 (VISCOSITY 5.0 cP 이하) |
| 측정오차 |
± 3 %Full Scale |
| 사용압력 |
최대 8 kg/㎠ |
| 사용온도 |
최대 90 ℃ |
| 재 질 |
유체접촉부 : SUS304, SUS 316
Taper Tube : PYREX Glass(Borosilicate) |
유 량
| MODEL |
AIR (1 atm, 0 'C) |
WATER (Sp.Gr., 1.0 VISCOSITY 1.0 cP) |
| FW 1110 |
30 cc/min~30 ℓ/min |
30 cc/min~2 ℓ/min |
| FW 1120 |
500 cc/min~40 ℓ/min |
500 cc/min~2 ℓ/min |
| FW 1130 |
5 ℓ/min~60 ℓ/min |
500 cc/min~2 ℓ/min |
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