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FLOW METER
FW1520 Model
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FW1520 Model

FW 1520 MODEL은 중, 대용량의 유량계로 서, Aluminium Body의 미려한 외관과 내부 유체 접촉부는 Stainless를 사용하여, 초순수 및 고순도 유체, 일반 산업분야 에 이르기까지 광범위하게 사용할 수 있는 유량계입니 다.

중, 대용량의 유량측정

  • AIR 50~600 ℓ/min
  • WATER 5~20 ℓ/min

내부식성 재질 사용

  • SUS 304, SUS 316
  • 고순도 유지
  • Borosilicate Glass(PYREX) Tube
  • NBR, VITON, PTFE Gasket

Needle valve 부착 표준 모델

  • 정밀 유량제어가 용이함.

초음파 세정(DI WATER) 및 진공 포 장

  • 유량계 내부의 오염 방지

용 도

  • 반도체 제조장치
  • 초순수 및 고순도 액체 사용설비
  • 장비 Utility용

사 양

모 델 FW 1520
적용유체 기체, 액체 (VISCOSITY 5.0 cP 이하)
측정오차 ± 3 %Full Scale
사용압력 최대 8 kg/㎠
사용온도 최대 90 ℃
재 질

유체 접촉부 : SUS304, SUS 316
Taper Tube : PYREX Glass(Borosilicate)

Range

MODEL AIR (1 atm, 0 ℃) WATER (Sp.Gr., 1.0 VISCOSITY 1.0 cP)
FW 1520 100, 200, 300, 500, 600 ℓ/min 5, 10, 15, 20 ℓ/min


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