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| FW 1520 MODEL은 중, 대용량의 유량계로
서, Aluminium Body의 미려한 외관과 내부 유체 접촉부는
Stainless를 사용하여, 초순수 및 고순도 유체, 일반 산업분야
에 이르기까지 광범위하게 사용할 수 있는 유량계입니
다. |
중, 대용량의 유량측정
- AIR 50~600 ℓ/min
- WATER 5~20 ℓ/min
내부식성 재질 사용
- SUS 304, SUS 316
- 고순도 유지
- Borosilicate Glass(PYREX) Tube
- NBR, VITON, PTFE Gasket
Needle valve 부착 표준 모델
초음파 세정(DI WATER) 및 진공 포
장
용 도
- 반도체 제조장치
- 초순수 및 고순도 액체 사용설비
- 장비 Utility용
사 양
| 모 델 |
FW 1520 |
| 적용유체 |
기체, 액체 (VISCOSITY 5.0 cP 이하) |
| 측정오차 |
± 3 %Full Scale |
| 사용압력 |
최대 8 kg/㎠ |
| 사용온도 |
최대 90 ℃ |
| 재 질 |
유체 접촉부 : SUS304, SUS 316
Taper Tube : PYREX Glass(Borosilicate)
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Range
| MODEL |
AIR (1 atm, 0 ℃)
|
WATER (Sp.Gr., 1.0
VISCOSITY 1.0 cP) |
| FW 1520 |
100, 200, 300, 500, 600
ℓ/min |
5, 10, 15, 20
ℓ/min |
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Company