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초순수 고순도 유체용 유량계
| FW 1710T Model은 Teflon(PFA) body를
채용하여 내부 Contamination이 없는 내화학성이 우수한 제품으
로 초순수, 고순도의 Gas, Chemical을 사용하는 반도체 제조 공
정 및 각종 연구소의 미소유량 측정에 적합한 제품입니
다. |
Teflon 재질 사용
- Teflon PFA 재질 Body
- PCTFE 재질 Needle Valve
- Teflon Floater, Gasket
- 내부 Contamination이 없음
미소유량 측정에 최적
- AIR 30 cc~ 30 ℓ/min
- water 30 cc ~ 2 ℓ/min
초음파 세정(DI Water) 및 진공 포
장
용 도
- 반도체 제조공정의 초순수, 고순도 약액용
- 연구소의 초순수, 고순도 약액용
- 각종 이화학 분야의 약액용
사 양
| 모 델 |
FW 1710T |
| 적용유체 |
기체, 액체 (VISCOSITY 5.0 cP 이하) |
| 측정오차 |
± 3 %Full Scale |
| 사용압력 |
최대 5 kg/㎠ |
| 사용온도 |
최대 70 ℃ |
| 재 질 |
유체 접촉부 : PFA, PCTFE
TAPER TUBE : Pyrex Glass(Borosilicate)
GASKET : PFA, PTFE
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Range
| MODEL |
AIR (1 atm, 0 'C)
|
WATER (Sp.Gr., 1.0
VISCOSITY 1.0 cP) |
| FW 1710T |
30 cc/min~30
ℓ/min |
30 cc/min~1.5
ℓ/min |
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| [ 연락처 정보 ] |
 Company |
(주)우일하이테크 |
| Address |
경기도 성남시 분당구 수내동 11-1 청구블루빌 오피스텔 521호
(우:463-825) 한국 |
| Phone |
82 - 31 - 7132983 |
| Fax |
82 - 31 - 7163591 |
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| Contact |
최 영 / 상무이사 |
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Tel : 031-713-2983 Fax : 031-716-3591
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