Auto Refill System은 System 내에 하나의 교체용 Canister(Bulk Canister)와 하나의 고정용 Canister(Process Canister)로 구성되어 있고, He Gas 가압으로 Bulk Canister에 서 Process Canister로 연속적으로 Source 공급을 하고, 동시에 Process Canister에서 Main 장비로 연속 공급을 합니다. Bulk Canister를 교체시에는, Bulk Canister와 Process Canister 사이 의 Line이 자동 차단되어 Bulk Canister를 교체할 수 있고, 이 사이에도 Process Canister에서는 Main 장비의 중단없이 계속 Source를 공급하는 연속 작업이 진행됩니다.
사 양
형 식
LSS-W10x : 1 Process / 1 Bulk Canister
외형치수
W700 ×D500 ×H1600 (Canister의 용량에 따라 달라집니다.)
공급방식
He 가압 공급 방식
접 액 부
SUS 316L EP
운전 / 제어
Color LCD Touch Panel / PLC Control
출 력
4 ~ 20 mA / RS 485
Utility
전원 : AC 220V 3P 60Hz N₂: 6 kg/㎠, max 100 Liter/min He : 6 kg/㎠, max 30 Liter/min AIR : 6 kg/㎠, max 10 Liter/min
Bulk Canister 용량
1.2 / 20 Liter
[ 연락처 정보 ]
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(주)우일하이테크
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경기도 성남시 분당구 수내동 11-1 청구블루빌 오피스텔 521호 (우:463-825) 한국
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