Manually Actuated 3-way and Manifold Valve/FVMM Series |
FVMM series diaphragm valve는 Manual Diaphragm Valve를 일체형 Manifold에 여러 개의 Valve를 나열한 Manifold형 Valve로, 적은 공간에 여러개의 밸브를 설치 시 적합합니다. |
Specifications
- 사용온도 : 5 ~ 60°C - 사용압력 : 14kgf/㎠ - 밸브누설량 : 0 (수압)
Features
- PFA, PTFE, HT-PVC 접액부 선택 - 2 ~ 5 layer 배열 - 1 Inlet Multi-Outlet, Multi-Inlet, Multi-Outlet 등 다양한 선택 - 100만 Cycle Test를 거친 PTFE Diaphragm - 큰 orifice 구조로 원활한 유체유동과 적은 압력 손실 - Particle free, None Ion contamination - Sleeve insert Tube, Flare, PT, NPT female connection - Degreasing, DI Water로 초음파 세정 및 진공포장
Applications - Chemical supply system - Coater, Developer - Wet Station - Spin Etching, Cleaning System - Microbe, Biochemistry fields
|