| Air controlled Regulator / FRA Series |
| Chemical 및 DI Water를 사용하는 장비에서 Inlet 의 맥동을 감소시키고 설정된 정유량을 토출하도록 자동 조절하는 Air 구동형 Regulator로 정유량 토출이 필요한 Nozzle 등의 Point에 사용하기에 적합한 Regulating Valve입니다. |
Specifications
- 유체온도 : 10 ~ 60°C
- 최고사용압력 : 3kgf/㎠
- 설정압력범위 : 0.2 ~ 1.0 kgf/㎠
- 신호접속size : PT 1/8
Features
- PFA, PTFE, HT-PVC 접액부 선택
- Chemical, Water line의 압력, 정유량 조절용
- 미세유량 조절 가능
- Air 구동형 Intelligent Regulatorr
- 0.2 ~ 1 kg/㎠ 의 작은 설정압력
- 전자압력 제어밸브와 조합하여 Inlet 압력 변동시에도 정유량 토출 제어
Applications - Chemical supply system의 Using Point
- Wet etching 장비의 Inlet 압력 조절
- Wet etching 장비의 정유량 압력 조절
- Chemical pump Line 맥동 제거
- Chemical nozzle 단의 정유량 토출
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