| Teflon Regulator / FRM series |
| Chemical 및 DI Water용 장비의 Using Point의 압력을 제어하는 Regulator입니다. 고정도의 압력 조절 성능을 가졌으며 PTFE Diaphragm 채택과 PTFE 접액부는 Particle free 구조로 설계되었습니다. |
Specifications
- 유체온도 : 5 ~ 60°C
- 최고사용압력 : 5kgf/㎠
- 설정압력범위 : 0.2 ~ 3 kgf/㎠
Features
- PTFE, HT-PVC 접액부 선택
- Chemical, water line의 압력 조절용
- Sleeve insert tube connection, PT(NPT) female connection
- 0.2 ~ 3 kg/㎠ 의 넓은 압력 조절범위
- 최고 5 kg/㎠ 의 사용압력
- Degreasing, DII Water 로 초음파 세정 및 진공포장
Applications - Chemical supply system의 Using Point
- Wet etching 장비의 Inlet 압력 조절
- Wet etching 장비의 정유량 압력 조절
- Chemical pump line 압력 조절
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Company