| Suck Back Valve / FVSU series |
| Nozzle 장치에서 유체를 정지시킬 때 잔여 유체 방울이 떨어지는 것을 방지하기 위하여 Nozzle 안으로 유체를 빨아 당겨주는 Valve로써 Air Operated Valve와 Suck Back Valve의 일체형 Valve입니다. |
Specifications
- 사용온도 : 5 ~ 60°C
- 유체압력범위 : 0 ~ 2 kgf/㎠
Features
- 우수한 배관 suck back 구조
- 순수 및 약액 대응
- 우수한 내부식성
- Simple한 구조
- Particle free
- Degreasing, DI Water 로 초음파 세정 및 진공포장
Application - Spin Etcher
- Spin Coater, Developer
- Chemical Supply
- Nozzle Process
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Company